OLS4100 3D 测量激光显微镜

OLS4100 3D 测量激光显微镜——以接近纳米级的高分辨率进行 3D 观察与和测量的激光显微镜。

可以更简便、更快速、更大范围地获得图像。

具备智能扫描功能，任何人都可以一键完成过去只有熟练操作人员才能进行的获取 3D 图像操作。

通过使用方便、高速的图像拼接功能，可在更大的范围内进行高精度的测量。

● 综合倍率：108X~17,280X

● 测量项目：高度测量、长度测量、线粗糙度测量、面粗糙度测量、粒子分析、边缘自动识别、膜厚测量。

● 分辨率：0.12µm（平面）、0.01µm（高度）

● 重复性（平面）：3σ n-1 =0.02µm，重复性（高度）：σ n-1 =0.012µm

● 准确度（平面）：测量值的 ±2% 以内，准确度（高度）：0.2+L/100µm 以下（L= 测量长度 µm）