MX63 半导体 / FPD 检查显微镜

MX63 半导体 / FPD 检查显微镜——可适用于 200mm 晶圆、FPD 玻璃基板检查的电动机型（透反射兼用）。先进的 MIX 成像方式，让未见变为可见。可与物镜切换联动，自动调节孔径光阑，快速实现合适的检查条件。

● 适用于明场、暗场、微分干涉、荧光、简易偏光以及新式的 MIX 照明观察。

● 具备有全新的聚焦辅助功能，在检测低对比度样品时可帮助避免样品与物镜接触。

● 采用将主要操作部件集中配置于前面板等提高半导体检查效率的设计。

● 显微镜按洁净间应用而设计，并符合 SEMI S2/S8、CE 和 UL 要求。

● 配备了高强度白光 LED 光源，兼顾低功耗和长寿命的优点，而且其稳定的色温为可靠的图像质量和的色彩复现提供保障。

● 使用电动物镜转换器可快速切换物镜，并可以联动调节孔径光阑 (AS) 等，确保一直保持良好观察条件。