NX1000 工业检测显微镜专为工业、电子、仪器行业等超大面积样本观察设计。
技术参数：
光学系统 | 无限远光学系统 |
目镜 | EW10X(22) |
观察镜筒 | ·双目观察镜筒·三目观察镜筒·可倾角三目观察镜筒·正像可倾三目观察镜筒 |
转换器 | 六孔物镜转换器（带 DIC 插槽） |
物镜 | 半复消色差 / 复消色差物镜 |
平台 | 14寸X12寸超大平台，内置离合器，行程：356X305mm 可用于300mm晶圆 |
聚光镜 | 长距透射用聚光镜 |
光源 | 反射光源 10V/100W 卤素灯，科勒照明 |
| 透射光源 LED-40A 冷光源 | |
扩展性 | 明场、暗场、偏光、落射 DIC、荧光 |
产品特点:
NX1000系列工业检测显微镜采用经过多年研究和不断改良的 NIS 无限远光学系统，具有工作距离长，色差矫正能力强，成像锐利等的光学品质。大面积观察需要更大的操作平台，NX1000 系列显微镜采用 12 寸超大载物台，满足FPD及LSI的检测。加入离合器平台手柄及物镜转换等人性化部件，极大的降低了长时间显微操作带来的疲劳。
